差分式電渦流微位移傳感器標(biāo)定裝置、方法、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011487217.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112729087B 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN112729087B 申請公布日 2022-03-22
分類號 G01B7/02（2006.01）I;G01B9/02018（2022.01）I;G01B11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 徐正平;馮勇通 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 南京理工大學(xué)專利中心 代理人 朱炳斐;馬魯晉
地址 215163江蘇省蘇州市高新區(qū)科技城科靈路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種差分式電渦流微位移傳感器標(biāo)定裝置、方法、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲介質(zhì)。在標(biāo)定過程中，首先通過調(diào)節(jié)一維精密調(diào)整臺，使被測物與兩探頭之間的距離為零位距離。然后，將被測物與其中一探頭之間的距離調(diào)至量程最大值，并調(diào)節(jié)處理電路增益使處理電路輸出最大有效值。之后，在整個(gè)量程范圍內(nèi)，以指定步長步進(jìn)調(diào)節(jié)被測物與探頭之間的距離，同步記錄雙頻激光干涉儀給出的距離信息及處理電路輸出值，最后通過數(shù)據(jù)擬合得到差分式電渦流微位移傳感器的標(biāo)定結(jié)果。本發(fā)明采用雙頻激光干涉儀測量被測物與探頭之間的距離，精度高，能夠提高差分式電渦流微位移傳感器的標(biāo)定精度；采用雙探頭差分測量模式，可有效提高輸入輸出關(guān)系曲線的線性度。