一種用于電子化學(xué)品的取樣系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202023169560.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213749207U | 公開（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213749207U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-20 |
| 分類號(hào) | G01N1/10（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 夏致遠(yuǎn);金向華;張友圣;李剛;曹文權(quán) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 金宏氣體電子材料（淮安）有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陸金星 |
| 地址 | 223100江蘇省淮安市洪澤鹽化工區(qū)（郭橋路北側(cè)、洪鹽路東側(cè)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于電子化學(xué)品的取樣系統(tǒng)，包括依次連接的至少2個(gè)潔凈空間，各個(gè)潔凈空間均與抽真空系統(tǒng)連接；按照行進(jìn)方向，各個(gè)潔凈空間的潔凈度逐漸增加；各個(gè)潔凈空間之間設(shè)有連通通道，連通通道上設(shè)有啟閉閥門；所述各個(gè)潔凈空間均與惰性氣體供應(yīng)系統(tǒng)連接；還包括輸送系統(tǒng)，以將取樣瓶從各個(gè)潔凈空間之間實(shí)現(xiàn)輸送。本實(shí)用新型通過(guò)將生產(chǎn)系統(tǒng)和取樣系統(tǒng)分開設(shè)置，從而不需要在工廠內(nèi)設(shè)置龐大的潔凈室，從而節(jié)約了土地和空間，降低了成本。 |
