一種用于過濾器的濾芯更換系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022133482.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN213668325U | 公開（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申請公布號 | CN213668325U | 申請公布日 | 2021-07-13 |
| 分類號 | B01D46/00（2006.01）I | 分類 | 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置; |
| 發(fā)明人 | 金向華;夏致遠(yuǎn);張友圣;李剛;曹文權(quán) | 申請（專利權(quán)）人 | 金宏氣體電子材料（淮安）有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陸金星 |
| 地址 | 223100江蘇省淮安市洪澤鹽化工區(qū)（郭橋路北側(cè)、洪鹽路東側(cè)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于過濾器的濾芯更換系統(tǒng)，包括抽真空系統(tǒng)、惰性氣體供應(yīng)系統(tǒng)、以及尾氣處理系統(tǒng)，過濾器的頂部、底部均與所述抽真空系統(tǒng)連接；所述惰性氣體供應(yīng)系統(tǒng)與所述過濾器的底部連接；所述過濾器的頂部、底部均與所述尾氣處理系統(tǒng)連接。在更換濾芯時，可以先用抽真空系統(tǒng)系統(tǒng)抽走殘留的電子氣體，然后用惰性氣體供應(yīng)系統(tǒng)置換過濾器內(nèi)的殘留的電子氣體，防止電子氣體（或其形成的腐蝕性液體）因腐蝕管道而帶來的安全風(fēng)險和產(chǎn)品質(zhì)量事故；再然后，再次用抽真空系統(tǒng)系統(tǒng)抽走惰性氣體和可能殘留的電子氣體，從而保證管道內(nèi)肯定不會有殘留，從而徹底杜絕了電子氣體（或其形成的腐蝕性液體）腐蝕管道的問題。 |
