一種高純電子化學(xué)品的充裝系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022133466.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213040302U 公開（公告）日 2021-04-23
申請公布號 CN213040302U 申請公布日 2021-04-23
分類號 F17C5/00;F17D1/02;F17D3/01;B01D46/00 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 金向華;夏致遠;王毅;曹文權(quán);李剛 申請（專利權(quán)）人 金宏氣體電子材料（淮安）有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 蘇州翔遠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陸金星
地址 223100 江蘇省淮安市洪澤鹽化工區(qū)(郭橋路北側(cè)、洪鹽路東側(cè))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種高純電子化學(xué)品的充裝系統(tǒng)，包括至少2個產(chǎn)品罐、至少2組過濾機構(gòu)、以及輸送裝置；所述一號產(chǎn)品罐通過輸送裝置與第一級過濾機構(gòu)的入口連接，所述第一級過濾機構(gòu)的出口與所述一號產(chǎn)品罐的頂部連接，構(gòu)成第一級循環(huán)過濾體系；所述一號產(chǎn)品罐通過輸送裝置與第二級過濾機構(gòu)的入口連接，所述第二級過濾機構(gòu)的出口與所述一號產(chǎn)品罐的頂部連接，構(gòu)成第二級循環(huán)過濾體系；所述第一級循環(huán)過濾體系中的過濾機構(gòu)的過濾精度小于所述第二級循環(huán)過濾體系中過濾機構(gòu)的過濾精度。本實用新型新通過設(shè)置至少2個產(chǎn)品罐，形成了兩套多級循環(huán)過濾體系，從而實現(xiàn)了連續(xù)式工作，從而大大提高了工作效率。