一種用于電子級氣體提純裝置的安全環(huán)保停車方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110750728.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113440881B 公開（公告）日 2022-06-03
申請公布號 CN113440881B 申請公布日 2022-06-03
分類號 B01D3/14（2006.01）I;B01D46/00（2022.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 金向華;孫猛;夏致遠 申請（專利權(quán)）人 金宏氣體電子材料（淮安）有限責任公司
代理機構(gòu) 蘇州翔遠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 223100江蘇省淮安市洪澤鹽化工區(qū)鹽南大道西首（江蘇振方生物化學有限公司）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種用于電子級氣體提純裝置的安全環(huán)保停車方法，安全環(huán)保停車方法包括：關(guān)閉電子級氣體提純裝置的上游進料閥門和下游出料閥門，使電子級氣體提純裝置與外界隔斷；關(guān)閉原料罐與過濾器連接的手閥、冷凝器用于排出不凝氣的手閥、精餾塔與換熱器之間的手閥以及換熱器的熱水回水手閥；降低精餾塔內(nèi)的壓力以及精餾塔的輸入流量和輸出流量，使精餾塔保持低負荷循環(huán)運行。本申請的用于電子級氣體提純裝置的安全環(huán)保停車方法，無需在停車時對機泵，設(shè)備，管線中的物料進行處理，防止有毒和腐蝕性介質(zhì)及易燃易爆的化學品污染環(huán)境或發(fā)生事故；避免在拆除管道，維修，置換吹掃施工過程中對人員造成傷害；降低生產(chǎn)能耗提高生產(chǎn)效益。