一種高純電子氣體的充裝系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022145015.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213040303U | 公開（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213040303U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-23 |
| 分類號(hào) | F17C5/00;F17D1/02;F17D3/01;B01D46/00 | 分類 | 氣體或液體的貯存或分配; |
| 發(fā)明人 | 金向華;夏致遠(yuǎn);張友圣;李剛;曹文權(quán) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 金宏氣體電子材料（淮安）有限責(zé)任公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州翔遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陸金星 |
| 地址 | 223100 江蘇省淮安市洪澤鹽化工區(qū)(郭橋路北側(cè)、洪鹽路東側(cè)) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種高純電子氣體的充裝系統(tǒng)，包括至少1個(gè)產(chǎn)品罐、至少2組過濾機(jī)構(gòu)、以及至少1個(gè)隔膜壓縮機(jī)；所述產(chǎn)品罐的底部通過隔膜壓縮機(jī)與一組過濾機(jī)構(gòu)的入口連接，所述過濾機(jī)構(gòu)的出口與所述產(chǎn)品罐的頂部連接，構(gòu)成第一級(jí)循環(huán)過濾體系；所述產(chǎn)品罐的底部通過隔膜壓縮機(jī)與另一組過濾機(jī)構(gòu)的入口連接，所述過濾機(jī)構(gòu)的出口與所述產(chǎn)品罐的頂部連接，構(gòu)成第二級(jí)循環(huán)過濾體系；所述第一級(jí)循環(huán)過濾體系中的過濾機(jī)構(gòu)的過濾精度小于所述第二級(jí)循環(huán)過濾體系中過濾機(jī)構(gòu)的過濾精度。本實(shí)用新型新采用了并列設(shè)置的多級(jí)循環(huán)過濾體系，統(tǒng)籌兼顧了粗細(xì)多級(jí)過濾、循環(huán)過濾、產(chǎn)品罐外部過濾，從而徹底解決了現(xiàn)有的管道式過濾器存在的問題。 |
