一種可同時實現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210152181.0 申請日 -
公開（公告）號 CN103422059B 公開（公告）日 2016-01-27
申請公布號 CN103422059B 申請公布日 2016-01-27
分類號 C23C14/22(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 姜翠寧 申請（專利權(quán)）人 深圳市正星光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 231300 安徽省六安市舒城縣杭埠鎮(zhèn)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)杭埠園區(qū)產(chǎn)投產(chǎn)業(yè)園D3幢（香樟大道與石蘭路交叉口）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可同時實現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備，該可同時實現(xiàn)玻璃基板單、雙面鍍膜設(shè)備由箱體、基片架、加熱器、導(dǎo)桿、傳動輪、上橫梁、下橫梁構(gòu)成，所述加熱器位于箱體兩側(cè)真空室壁上，沒有靶位的地方均設(shè)有加熱器，加熱器的數(shù)量是常規(guī)設(shè)計的1.5倍，且加熱器采用分段式，這樣可以提高加熱效率，而且可以分段控制溫度，能夠更好的保證玻璃受熱均勻，最主要的是解決了現(xiàn)有技術(shù)無法完成基板兩面同時鍍膜的缺陷，降低了雙面膜產(chǎn)品的生產(chǎn)成本尺寸，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品的良率，其設(shè)計思路具有領(lǐng)先地位。