一種基于虛擬儀器的朗繆爾探針等離子體診斷方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200610134481.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN100508102C 公開（公告）日 2009-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN100508102C 申請(qǐng)公布日 2009-07-01
分類號(hào) H01J37/244(2006.01)I;G01T1/29(2006.01)I;G01R19/00(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陸文琪;鄧新綠;劉佳宏;徐軍;董闖 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連理工營(yíng)口研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連理工大學(xué)專利中心 代理人 侯明遠(yuǎn);李寶元
地址 116024遼寧省大連市甘井子區(qū)凌工路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及到一種基于虛擬儀器的朗繆爾探針等離子體診斷方法，用于診斷等離子體的空間電位、電荷密度、電子溫度等參數(shù)。其特征是使用“準(zhǔn)直流”探針偏置信號(hào)代替常規(guī)的鋸齒波掃描偏置信號(hào)，利用虛擬儀器代替常規(guī)的掃描信號(hào)發(fā)生器生成探針偏置信號(hào)并對(duì)探針的電壓、電流信號(hào)進(jìn)行采集和分析計(jì)算。本發(fā)明的效果和益處是不需要電流與電壓信號(hào)采集同步，降低了對(duì)數(shù)據(jù)采集卡的要求；可通過多次采集提高數(shù)據(jù)的信噪比；更重要的是可以通過靈活地變更采樣率克服等離子體波動(dòng)的干擾，從而能夠?qū)Σ▌?dòng)的等離子體進(jìn)行診斷。