一種基于虛擬儀器的朗繆爾探針等離子體診斷方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200610134481.0 申請日 -
公開（公告）號 CN1988106A 公開（公告）日 2007-06-27
申請公布號 CN1988106A 申請公布日 2007-06-27
分類號 H01J37/244(2006.01);G01T1/29(2006.01);G01R19/00(2006.01) 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陸文琪;鄧新綠;劉佳宏;徐軍;董闖 申請（專利權）人 大連理工營口研究院有限公司
代理機構 大連理工大學專利中心 代理人 侯明遠;李寶元
地址 116024遼寧省大連市甘井子區(qū)凌工路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及到一種基于虛擬儀器的朗繆爾探針等離子體診斷方法，用于診斷等離子體的空間電位、電荷密度、電子溫度等參數(shù)。其特征是使用“準直流”探針偏置信號代替常規(guī)的鋸齒波掃描偏置信號，利用虛擬儀器代替常規(guī)的掃描信號發(fā)生器生成探針偏置信號并對探針的電壓、電流信號進行采集和分析計算。本發(fā)明的效果和益處是不需要電流與電壓信號采集同步，降低了對數(shù)據(jù)采集卡的要求；可通過多次采集提高數(shù)據(jù)的信噪比；更重要的是可以通過靈活地變更采樣率克服等離子體波動的干擾，從而能夠對波動的等離子體進行診斷。