一種快照式光譜共焦傳感器及其測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110899634.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113465517A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113465517A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G01B11/02（2006.01）I;G01B11/14（2006.01）I;G02B3/00（2006.01）I;G03H1/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 周建康;楊平;凌晨;陳志敏 申請（專利權）人 儒眾智能科技（蘇州）有限公司
代理機構 蘇州六一專利代理事務所（普通合伙） 代理人 沈陳
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)方涇路8號群祥工業(yè)坊1#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種快照式光譜共焦傳感器及其測量方法，涉及傳感器技術領域，包括準直透鏡組、分光鏡一、校正板、微透鏡陣列、聚焦鏡一、體光柵和面陣探測器，所述準直透鏡組呈水平設置，所述分光鏡一處于準直透鏡組的正下方，且分光鏡一呈45°傾斜設置，所述校正板呈水平設置并處于分光鏡一的正下方，所述聚焦鏡一豎直設置并處于分光鏡一所在平面，且聚焦鏡一設置于分光鏡一的一側，所述聚焦鏡一與校正板呈反射鏡像對稱，所述微透鏡陣列呈水平設置并處于校正板的正下方；本發(fā)明采用面陣色散陣列和系統(tǒng)一體化非線性色散補償方法，實現(xiàn)快照式面區(qū)域的形貌信息獲取，具有微米甚至幾十納米的高度或位移分辨率。