一種新型反磁控規(guī)及皮拉尼規(guī)復(fù)合傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821201828.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN208399080U 公開(kāi)（公告）日 2019-01-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN208399080U 申請(qǐng)公布日 2019-01-18
分類號(hào) G01L21/12 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 賀良武;王磊;王明桃;樊厚杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 成都興睿寶電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都行之專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 楊琪
地址 610000 四川省成都市雙流縣西南航空港經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)工業(yè)集中區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型反磁控規(guī)及皮拉尼規(guī)復(fù)合傳感器，包括金屬外殼、絕緣蓋、可伐桿和永磁體，金屬外殼為頂部開(kāi)口和底部開(kāi)口的管形腔體，絕緣蓋與金屬外殼的頂部開(kāi)口密封連接，在絕緣蓋上連接有陽(yáng)極桿，陽(yáng)極桿位于金屬外殼內(nèi)，陽(yáng)極桿與金屬外殼之間留有間隙，在絕緣蓋上還設(shè)有可伐桿，可伐桿設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)可伐桿在絕緣蓋上間隔設(shè)置，在絕緣蓋下端面的可伐桿位于金屬外殼內(nèi)，在絕緣蓋下端面的兩個(gè)可伐桿之間連接有燈絲，永磁體為圓環(huán)形結(jié)構(gòu)，永磁體套設(shè)在金屬外殼的外壁上。該傳感器綜合了反磁控規(guī)與皮拉尼規(guī)的測(cè)量方法，能夠根據(jù)具體的真空度進(jìn)行單獨(dú)測(cè)量，提高了該傳感器的適用范圍，降低使用成本，擴(kuò)大了真空度測(cè)量范圍。