一種具有超結(jié)結(jié)構(gòu)的功率器件及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811276121.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109411529B 公開（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN109411529B 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) H01L29/06（2006.01）I;H01L21/8222（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 南京多基觀測(cè)技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 任立
地址 211500 江蘇省南京市六合區(qū)雄州街道王橋路59號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有超結(jié)結(jié)構(gòu)的功率器件及其制作方法，該具有超結(jié)結(jié)構(gòu)的功率器件包括位于終端區(qū)內(nèi)的超結(jié)結(jié)構(gòu)，所述超結(jié)結(jié)構(gòu)包括至少一個(gè)第一導(dǎo)電類型的第一半導(dǎo)體柱及至少一個(gè)第二導(dǎo)電類型的第二半導(dǎo)體柱，第一半導(dǎo)體柱與第二半導(dǎo)體柱橫向交替排布；超結(jié)結(jié)構(gòu)還包括第二隔離層和第三隔離層，第二隔離層與第二半導(dǎo)體柱的一端連接；第三隔離層與第一半導(dǎo)體柱的一端連接。本發(fā)明所述具有超結(jié)結(jié)構(gòu)的功率器件中的所述超結(jié)結(jié)構(gòu)相當(dāng)于多個(gè)PN結(jié)并聯(lián)，其可通過較大的漏電流，從而起到對(duì)所述具有超結(jié)結(jié)構(gòu)的功率器件的有源區(qū)進(jìn)行保護(hù)的作用。