一種利用顯影液吸光度測試光刻膠用樹脂堿溶解速率的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110048728.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112683828A | 公開（公告）日 | 2021-04-20 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112683828A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-20 |
| 分類號(hào) | G01N21/31(2006.01)I;G01B21/08(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 馬陽陽;張東宏;李寶軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 陜西彩虹新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓特專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 段宇 |
| 地址 | 712021陜西省咸陽市秦都區(qū)彩虹二路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明揭示了一種利用顯影液吸光度測試光刻膠用樹脂堿溶解速率的方法，將樹脂粉末溶解在PGMEA中，制成一定濃度的樹脂溶液，并在涂膜顯影機(jī)上設(shè)定相應(yīng)程序于硅片上涂覆樹脂溶液，然后在一定顯影液堿度、流量條件下顯影，通過測試顯影液的吸光度值隨時(shí)間變化的曲線趨于穩(wěn)定的時(shí)間確定為樹脂顯影的最佳時(shí)間，最后沖洗、烘干計(jì)算結(jié)果。本發(fā)明的主要有益效果是：樹脂的堿溶解速率為光刻膠合成用樹脂的選型提供有力依據(jù)。整個(gè)過程耗時(shí)短，可靠性強(qiáng)，重復(fù)性好。?? |
