一種改善光刻膠與晶圓粘附性的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110048723.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112698553A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-04-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112698553A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-23 |
| 分類(lèi)號(hào) | G03F7/38;G03F7/40;G03F7/30;G03F7/20;G03F7/16;H01L21/027 | 分類(lèi) | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類(lèi)似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 馬陽(yáng)陽(yáng);張東宏;李寶軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 陜西彩虹新材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓特專(zhuān)利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 段宇 |
| 地址 | 712021 陜西省咸陽(yáng)市秦都區(qū)彩虹二路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種改善光刻膠與晶圓粘附性的方法，其特征在于：包括對(duì)超純水清洗后晶圓進(jìn)行預(yù)烘烤，對(duì)光刻膠樣品進(jìn)行水浴放置以及在涂覆光刻膠前，設(shè)定程序預(yù)先手動(dòng)噴霧光刻膠對(duì)應(yīng)的溶劑溶液，然后吸取一定量光刻膠對(duì)烘烤后的晶圓進(jìn)行涂覆；對(duì)涂覆有光刻膠的晶圓進(jìn)行曝光處理；對(duì)曝光后的晶圓進(jìn)行曝光后烘烤；對(duì)曝光后烘烤的晶圓進(jìn)行室溫冷卻處理；最后對(duì)晶圓進(jìn)行顯影。本發(fā)明提供的改善光刻膠與晶圓粘附性的方法中，首先對(duì)晶圓進(jìn)行預(yù)烘烤，使得晶圓表面能由親水變?yōu)槭杷?，增加光刻膠與晶圓的粘附性。 |
