一種材料相變過程的成像裝置和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210251220.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114660017A 公開（公告）日 2022-06-24
申請公布號 CN114660017A 申請公布日 2022-06-24
分類號 G01N21/3581（2014.01）I;G01N21/01（2006.01）I;G01N25/02（2006.01）I;G02B27/09（2006.01）I;G02B27/30（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 譚智勇;曹俊誠 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所
代理機(jī)構(gòu) 上海泰博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 200050上海市長寧區(qū)長寧路865號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種材料相變過程的成像裝置和方法，其中，成像裝置包括：量子級聯(lián)激光器，用于在低溫環(huán)境下發(fā)出成像光；耦合輸出結(jié)構(gòu)，用于收集所述成像光并進(jìn)行準(zhǔn)直；擴(kuò)束裝置，用于將準(zhǔn)直后的所述成像光擴(kuò)束成共焦的多束激光；透鏡，用于將所述共焦的多束激光轉(zhuǎn)變?yōu)槠叫泄獠⒄丈涞綐悠钒迳系臏y試樣品；鏡頭，用于接收穿過所述測試樣品的平行光，并成像于熱探測陣列的敏感面上；計(jì)算機(jī)，用于獲取所述熱探測陣列上產(chǎn)生的電信號。本發(fā)明能夠有效避免被測樣品因加熱帶來的熱輻射干擾。