氧化鎵晶片退火處理裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120458368.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214782265U 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214782265U 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) C30B33/02（2006.01）I;C30B29/16（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 吳義凱;黃安平;田京生 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 珠海經(jīng)濟(jì)特區(qū)方源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳至誠(chéng)化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 劉英
地址 519031廣東省珠海市香洲區(qū)寶南路317號(hào)方源大廈四層401、402、403、404、405、407室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了氧化鎵晶片退火處理裝置，屬于氧化鎵晶片退火處理領(lǐng)域。氧化鎵晶片退火處理裝置，包括底座，限位桿側(cè)壁連接有移動(dòng)機(jī)構(gòu)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定連接在限位桿側(cè)壁，驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出端連接有連接桿，連接桿側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一轉(zhuǎn)軸，第一轉(zhuǎn)軸側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連桿，連桿遠(yuǎn)離第一轉(zhuǎn)軸的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)軸，第二轉(zhuǎn)軸外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有驅(qū)動(dòng)塊，驅(qū)動(dòng)塊側(cè)壁連接有支撐圓盤，支撐圓盤底部連接有夾持機(jī)構(gòu)，夾持機(jī)構(gòu)加持端與晶片相配合；本實(shí)用新型通過夾持機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)相配，合實(shí)現(xiàn)夾取釋放功能，可使夾持機(jī)構(gòu)在夾取高度和夾取位置可進(jìn)行調(diào)節(jié)，提高移動(dòng)效率，可根據(jù)不同環(huán)境進(jìn)行移動(dòng)設(shè)定，減少移動(dòng)時(shí)間，提高品控。