一種用于芯片的光刻膠剝離液、制備方法及去膠工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310719197.X 申請日 -
公開（公告）號 CN103676505B 公開（公告）日 2016-04-13
申請公布號 CN103676505B 申請公布日 2016-04-13
分類號 G03F7/42(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 侯軍;李波 申請（專利權(quán)）人 大連奧首科技有限公司
代理機構(gòu) 北京世譽鑫誠專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭官厚
地址 324012 浙江省衢州市杜鵑路36號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于芯片的光刻膠剝離液、制備方法及去膠工藝，所述剝離液包括剝離劑、潤濕劑、有機胺或有機銨鹽、緩蝕劑、助劑和有機溶劑。所述剝離液對各種芯片具有良好的光刻膠剝離和溶解能力，能夠完全去除光刻膠，無殘留，此外還能保證無腐蝕，具有廣泛的工業(yè)應(yīng)用潛力和價值。