一種硅片清洗液、制備方法、用途和硅片清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310300228.8 申請日 -
公開（公告）號 CN103333748B 公開（公告）日 2014-08-13
申請公布號 CN103333748B 申請公布日 2014-08-13
分類號 C11D1/825(2006.01)I;C11D3/37(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 分類 動物或植物油、脂、脂肪物質(zhì)或蠟；由此制取的脂肪酸；洗滌劑；蠟燭;
發(fā)明人 侯軍;李波;熊展瑜 申請（專利權）人 大連奧首科技有限公司
代理機構 北京世譽鑫誠專利代理事務所（普通合伙） 代理人 郭官厚
地址 116025 遼寧省大連市高新園區(qū)火炬路1號A座201-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅片清洗液、制備方法、用途及使用該清洗液的硅片清洗方法，所述清洗液包括含氟表面活性劑、聚氧丙烯聚氧乙烯聚醚、無機堿、絡合劑、纖維素衍生物和純水，其對硅片具有優(yōu)異的清洗潔凈能力，能夠徹底除去污染物，提高電子元件的潔凈度；此外，所述清洗液具有制備簡單、成本低廉、環(huán)境友好等諸多優(yōu)點，具有廣闊的研究價值和工業(yè)應用前景。