一種大尺寸硅片游離磨料水基切割液及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111304755.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113913236A 公開（公告）日 2022-01-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN113913236A 申請(qǐng)公布日 2022-01-11
分類號(hào) C10M173/02（2006.01）I;C10N30/04（2006.01）N;C10N40/22（2006.01）N 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤(rùn)滑劑；泥煤;
發(fā)明人 侯軍;張楠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連奧首科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連星海專利事務(wù)所有限公司 代理人 楊翠翠
地址 116023遼寧省大連市高新區(qū)火炬路1號(hào)A座201-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種大尺寸硅片游離磨料水基切割液及其制備方法，其屬于半導(dǎo)體切割的技術(shù)領(lǐng)域。該切割液中包括多元醇及其衍生物、超分散劑、潤(rùn)滑劑、潤(rùn)濕劑和超純水，多元醇作為主體成分，起到阻燃、冷卻效果，有效減少晶片發(fā)生翹曲，提高晶片質(zhì)量。超分散劑以其錨固基團(tuán)緊吸附于SiC表面，其溶劑化段可伸展于分散介質(zhì)中形成位阻，避免了綠色碳化硅磨料發(fā)生團(tuán)聚，形成穩(wěn)定的懸浮分散體系；利用超分散劑溶劑化鏈的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，使其在多元醇和水中穩(wěn)定伸展，形成具有高分散性、高懸浮性、易清洗、綠色環(huán)保的水基切割液。