硅片倒角砂輪修整裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210377924.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114619370A 公開(kāi)（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN114619370A 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類(lèi)號(hào) B24B53/065（2006.01）I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 文東輝;程美嬌;吳曉峰;黃笑容;徐浩哲;湯爐濱;傅遠(yuǎn)韜 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 浙江中晶科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江千克知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 310000浙江省杭州市拱墅區(qū)潮王路18號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅片倒角砂輪修整裝置，屬于砂輪修整技術(shù)領(lǐng)域，它包括工作臺(tái)和間隔設(shè)于工作臺(tái)上的工件放置機(jī)構(gòu)和修整機(jī)構(gòu)，所述工件放置機(jī)構(gòu)至少包括豎直向上延伸的放置轉(zhuǎn)軸和用于驅(qū)動(dòng)放置轉(zhuǎn)軸自轉(zhuǎn)的第一驅(qū)動(dòng)件，所述放置轉(zhuǎn)軸頂部形成有供砂輪套裝于放置轉(zhuǎn)軸上的固定部，所述放置轉(zhuǎn)軸上設(shè)有位于固定部下方的對(duì)槽輔助部，所述修整機(jī)構(gòu)至少包括能上下升降且能沿放置轉(zhuǎn)軸的徑向水平移動(dòng)的移動(dòng)部，所述移動(dòng)部上固定有上下間隔設(shè)置的砂輪修整器和對(duì)槽檢測(cè)部。本發(fā)明能夠有效防止修整時(shí)砂輪修整器損壞砂輪槽槽壁上的磨粒結(jié)構(gòu)，延長(zhǎng)砂輪的使用壽命下降，同時(shí)能夠保證修整的效果，從而保證砂輪后續(xù)倒角加工的質(zhì)量。