一種硅棒晶向角度調節(jié)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122058302.2 申請日 -
公開(公告)號 CN215472273U 公開(公告)日 2022-01-11
申請公布號 CN215472273U 申請公布日 2022-01-11
分類號 B28D5/04(2006.01)I;B28D7/00(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 吳曉峰;徐浩哲;關建東 申請(專利權)人 浙江中晶科技股份有限公司
代理機構 杭州西木子知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 代理人 韓燕燕
地址 313100浙江省湖州市長興縣太湖街道陸匯路59號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種硅棒晶向角度調節(jié)裝置,包括:底座,以及安裝于所述底座上并用于承載晶棒的載臺,還包括:安裝于所述底座上的調節(jié)機構;通過在底座上轉動安裝用于粘接晶棒的載臺,并在底座上設置與載臺偏心鉸接的調節(jié)機構,通過手動轉動調節(jié)機構以帶動載臺進行水平轉動,配合刻度實現(xiàn)載臺安裝角度的精準微調,進而實現(xiàn)晶棒粘接角度的微量可調,滿足切割后硅片晶向度數的嚴格要求,操作簡化的同時精度大大提高,解決了現(xiàn)有技術中晶棒粘接角度調節(jié)不便、精確度差、無法滿足切割要求等技術問題。