一種氧化鋯復合磨料的制備工藝及研磨液

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010441370.4 申請日 -
公開（公告）號 CN111607359A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN111607359A 申請公布日 2021-06-04
分類號 C09K3/14;C09G1/02 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應用;
發(fā)明人 郭兵健;劉小磐;徐一俊;何國君;吳曉峰 申請（專利權）人 浙江中晶科技股份有限公司
代理機構 長沙正奇專利事務所有限責任公司 代理人 馬強;胡凌云
地址 313100 浙江省湖州市長興縣太湖街道陸匯路59號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種新型氧化鋯復合磨料的制備工藝及研磨液，先制備氧化鋯復合磨料有機前驅(qū)溶膠；再對有機前驅(qū)溶膠的造粒；然后燒結(jié)，獲得氧化鋯復合磨料。本發(fā)明制備的氧化鋯復合磨料由無數(shù)微小的氧化鋯顆粒通過晶界處的硼鋁酸鹽熔體粘接而成，雖宏觀尺寸較大，在研磨硅片過程中氧化鋯復合磨料沿玻璃結(jié)合界面斷裂，磨料的磨損為微量破碎式磨損，在磨削的過程中不斷地破損產(chǎn)生大量的、新的、細小的磨削刃，該復合磨料，具有很高的自銳性，磨削效率比氧化鋁磨料提高30%以上；另外，被研磨物體表面為大量細小的研磨痕，研磨后的工件的表面粗糙度值更低，而且使用過程中可以提供穩(wěn)定一致的磨削量，能夠有效地兼顧磨削效率和被磨削工件的表面質(zhì)量。