一種硅片研磨設備固結磨盤用油石自動修正裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021347926.5 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212553359U | 公開（公告）日 | 2021-02-19 |
| 申請公布號 | CN212553359U | 申請公布日 | 2021-02-19 |
| 分類號 | B24B53/14(2006.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 吳曉峰;郭兵健;劉小磐 | 申請（專利權）人 | 浙江中晶科技股份有限公司 |
| 代理機構 | 杭州西木子知識產權代理事務所（特殊普通合伙） | 代理人 | 韓燕燕 |
| 地址 | 313100浙江省湖州市長興縣太湖街道陸匯路59號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型涉及硅片研磨設備的固結磨料墊的修正加工領域，具體為一種硅片研磨設備固結磨盤用油石自動修正裝置，包括同軸設置的上研磨盤系統(tǒng)、下研磨盤系統(tǒng)以及若干設置于上研磨盤系統(tǒng)和下研磨盤系統(tǒng)之間的修整輪,修整輪上均布有若干貫穿的放置孔，該放置孔內放置有油石柱，油石柱豎直方向的兩端面分別與上研磨盤系統(tǒng)及下研磨盤系統(tǒng)抵觸設置,其采用油石柱代替?zhèn)鹘y(tǒng)的硬質球墨鑄鐵研磨修正盤，通過油石柱對粘貼在上研磨盤系統(tǒng)和下研磨盤系統(tǒng)的固結磨料墊進行研磨修正，以較小的去除量，使固結磨料墊快速達到預設的修正精度，有效降低生產成本，同時以純水和適量助磨劑取代配置的研磨液，解決現(xiàn)有研磨設備在修正時產生的水污染問題。?? |
