基片偏移的診斷及校正方法和診斷及校正裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710179912.X 申請日 -
公開（公告）號 CN101465311B 公開（公告）日 2011-12-07
申請公布號 CN101465311B 申請公布日 2011-12-07
分類號 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李永軍 申請（專利權(quán)）人 安徽尚特杰企業(yè)管理有限公司
代理機構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司;安徽天尚清潔能源科技有限公司;李永軍;安徽尚特杰企業(yè)管理有限公司
地址 100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M5樓南二層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基片偏移的診斷及校正方法，其包括以下步驟：10)診斷步驟：基于第一傳感器的檢測結(jié)果判斷傳送部件所攜帶的基片是否發(fā)生偏移，若無偏移，則不進行下述校正步驟；若有偏移，則轉(zhuǎn)入下述校正步驟；20)校正步驟：調(diào)整所述基片的位置，使其消除偏移而回歸基準(zhǔn)位置。此外，本發(fā)明還提供了一種基片偏移的診斷及校正裝置，包括診斷單元和校正單元，其中診斷單元用于判斷傳送部件所攜帶的基片是否發(fā)生偏移，若有偏移，則觸發(fā)校正單元工作；若無偏移，則不進行任何操作；校正單元用于調(diào)整所述基片的位置，以使其消除偏移而回歸基準(zhǔn)位置。本發(fā)明提供的方法和裝置簡單易行，能使基片準(zhǔn)確傳送，且傳送精度高、可靠性好。