一種超薄型石英晶圓片的刻蝕裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120158353.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214313137U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214313137U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃大勇;李天寶;謝凡;汪曉虎;晏俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 隨州潤(rùn)晶電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 441300湖北省隨州市曾都經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)（泰晶科技園）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種超薄型石英晶圓片的刻蝕裝置，包括石英晶片裝載籃，石英晶片裝載籃由圓柱軸一圓柱軸二、圓柱軸三、圓柱軸四和圓柱軸五組成，圓柱軸一、圓柱軸二、圓柱軸三、圓柱軸四和圓柱軸五的對(duì)應(yīng)位置均設(shè)置有可以放置石英晶片的圓凹槽，圓柱軸一、圓柱軸二、圓柱軸三、圓柱軸四和圓柱軸五的兩端分別通過(guò)固定架連接，兩個(gè)固定架的頂端通過(guò)安裝支架連接，石英晶片裝載籃下方設(shè)置的腐蝕液攪拌機(jī)構(gòu)，石英晶片裝載籃和腐蝕液攪拌機(jī)構(gòu)均位于圓筒內(nèi)，圓筒放置于密封罐內(nèi)，密封罐的底部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)磁鐵。本實(shí)用新型具體有對(duì)該設(shè)備結(jié)構(gòu)緊促，罐體密封性好，操作安全，晶片腐蝕速率可控性好的特點(diǎn)。