一種超薄型石英晶圓片的刻蝕裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120158353.X 申請日 -
公開（公告）號 CN214313137U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214313137U 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃大勇;李天寶;謝凡;汪曉虎;晏俊 申請（專利權）人 隨州潤晶電子科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 441300湖北省隨州市曾都經(jīng)濟開發(fā)區(qū)（泰晶科技園）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種超薄型石英晶圓片的刻蝕裝置，包括石英晶片裝載籃，石英晶片裝載籃由圓柱軸一圓柱軸二、圓柱軸三、圓柱軸四和圓柱軸五組成，圓柱軸一、圓柱軸二、圓柱軸三、圓柱軸四和圓柱軸五的對應位置均設置有可以放置石英晶片的圓凹槽，圓柱軸一、圓柱軸二、圓柱軸三、圓柱軸四和圓柱軸五的兩端分別通過固定架連接，兩個固定架的頂端通過安裝支架連接，石英晶片裝載籃下方設置的腐蝕液攪拌機構，石英晶片裝載籃和腐蝕液攪拌機構均位于圓筒內(nèi)，圓筒放置于密封罐內(nèi)，密封罐的底部設置有旋轉(zhuǎn)磁鐵。本實用新型具體有對該設備結構緊促，罐體密封性好，操作安全，晶片腐蝕速率可控性好的特點。