一種超薄型石英晶圓片的涂膠載盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120130043.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214122679U 公開（公告）日 2021-09-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN214122679U 申請(qǐng)公布日 2021-09-03
分類號(hào) G03F7/16（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 黃大勇;李天寶;謝凡;汪曉虎;晏俊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 隨州潤晶電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 441300湖北省隨州市曾都經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)（泰晶科技園）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種超薄型石英晶圓片的涂膠載盤，包括圓柱形旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的中間有中心孔，側(cè)邊有方形卡槽，旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有旋轉(zhuǎn)圓盤，旋轉(zhuǎn)圓盤上設(shè)置有方形凸臺(tái)，方形凸臺(tái)四個(gè)角導(dǎo)圓與旋轉(zhuǎn)圓盤同面，方形凸臺(tái)與旋轉(zhuǎn)圓盤形成臺(tái)面，方形凸臺(tái)的四邊處分別設(shè)置有微型斜孔，且其正中位置設(shè)置有中心微孔，微型斜孔和中心微孔通過導(dǎo)管與中心孔相通，組成真空吸附通道。本實(shí)用新型具體方便超薄石英晶片取放，載臺(tái)旋轉(zhuǎn)平穩(wěn)，石英晶片吸附在載臺(tái)表面不變形，有效保障光刻膠旋涂過程中涂布均勻。