一種銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池光電吸收轉(zhuǎn)換層的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610410939.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105810764B 公開(kāi)（公告）日 2017-07-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN105810764B 申請(qǐng)公布日 2017-07-07
分類(lèi)號(hào) H01L31/032;H01L31/18;C23C14/24;C23C14/34 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳良范;孫嵩泉;甄永泰 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 安徽恒致銅銦鎵硒技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蚌埠鼎力專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 張建宏
地址 233000 安徽省蚌埠市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)大學(xué)科技園孵化器廠(chǎng)房2#樓403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池光電吸收轉(zhuǎn)換層的制備方法，其基本步驟按順序依次為：1）用物理真空濺射沉積薄膜的方法沉積一層銅鎵合金薄膜。2）將上述銅鎵薄膜在真空蒸發(fā)鍍膜的硒蒸汽環(huán)境中硒化處理。3）在硒化處理后的薄膜上用真空共蒸發(fā)法沉積銦和硒元素。4）最后用真空蒸發(fā)法在上述薄膜之上沉積少量的鎵以調(diào)節(jié)銅銦鎵硒薄膜太陽(yáng)能電池光電吸收轉(zhuǎn)換層的電學(xué)性能。