一種銅銦鎵硒薄膜太陽能電池光電吸收轉換層的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610410939.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105810764A 公開（公告）日 2016-07-27
申請公布號 CN105810764A 申請公布日 2016-07-27
分類號 H01L31/032(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳良范;孫嵩泉;甄永泰 申請（專利權）人 安徽恒致銅銦鎵硒技術有限公司
代理機構 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 代理人 張建宏
地址 233030 安徽省蚌埠市湯和路268號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種銅銦鎵硒薄膜太陽能電池光電吸收轉換層的制備方法，其基本步驟按順序依次為：1）用物理真空濺射沉積薄膜的方法沉積一層銅鎵合金薄膜。2）將上述銅鎵薄膜在真空蒸發(fā)鍍膜的硒蒸汽環(huán)境中硒化處理。3）在硒化處理后的薄膜上用真空共蒸發(fā)法沉積銦和硒元素。4）最后用真空蒸發(fā)法在上述薄膜之上沉積少量的鎵以調節(jié)銅銦鎵硒薄膜太陽能電池光電吸收轉換層的電學性能。