一種正性光刻膠組合物

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111145605.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113946099A 公開（公告）日 2022-01-18
申請公布號 CN113946099A 申請公布日 2022-01-18
分類號 G03F7/016（2006.01）I;G03F7/039（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 何卿;胡凡華;樸大然;盧克軍;張寧 申請（專利權）人 北京北旭電子材料有限公司
代理機構 北京柏杉松知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 張彥彥;劉繼富
地址 100015北京市朝陽區(qū)東直門外酒仙橋路10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┝艘环N正性光刻膠組合物，基于所述正性光刻膠組合物的總重量，所述正性光刻膠組合物包括：酚醛樹脂10?20wt％，感光化合物4?6wt％，交聯(lián)劑5?10wt％，流平劑0.05?0.10wt％，粘附性促進劑0.05?0.10wt％，溶劑65?80wt％；其中，所述酚醛樹脂為線性酚醛樹脂，結構式如式I所示，其中，n1為自然數(shù)，85≤n1≤170。本申請?zhí)峁┑恼怨饪棠z組合物，具有高耐熱的特性，耐熱溫度可達到230?250℃，可用于具有高溫工藝的生產(chǎn)流程，在曝光工藝中能夠形成良好的圖形形貌，同時具有良好的均一性，用于外圍電路時，能夠有效減少磨邊時崩壞不良的發(fā)生。