樹脂組合物、光刻膠組合物及圖案化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110930729.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113589649A 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN113589649A 申請公布日 2021-11-02
分類號 G03F7/004（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 胡凡華;張騰;何卿;劉洪雷;方兵;樸大然;盧克軍;張寧 申請（專利權(quán)）人 北京北旭電子材料有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 唐菲
地址 100000北京市朝陽區(qū)東直門外酒仙橋路10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請?zhí)峁┮环N樹脂組合物、光刻膠組合物及圖案化方法，屬于光刻技術(shù)領(lǐng)域。樹脂組合物按質(zhì)量百分比計包括20～50％的第一樹脂和50～80％的第二樹脂；第一樹脂的結(jié)構(gòu)如式Ⅰ所示；第二樹脂的結(jié)構(gòu)如式II?1或者式II?2所示。樹脂組合物中，含有至少兩種二甲酚結(jié)構(gòu)單元質(zhì)量百分比不同的第二樹脂，且二甲酚結(jié)構(gòu)質(zhì)量百分比≥30％的第二樹脂的質(zhì)量百分占比＜60％。光刻膠組合物按質(zhì)量百分比計包括：70～85％的溶劑、1～10％的感光劑以及10～20％的樹脂組合物；感光劑包括G線感光劑和I線感光劑。該樹脂組合物應(yīng)用于光刻膠中，能夠使得光刻膠兼具較高的分辨率和較快的感度。