一種離子束和化學(xué)機械拋光組合的鋁合金反射鏡加工方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011043575.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112171387A | 公開（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申請公布號 | CN112171387A | 申請公布日 | 2021-01-05 |
| 分類號 | B24B1/00(2006.01)I;C23F3/02(2006.01)I | 分類 | 磨削；拋光; |
| 發(fā)明人 | 關(guān)朝亮;戴一帆;彭小強;胡皓;杜春陽 | 申請（專利權(quán)）人 | 湖南天創(chuàng)精工科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 譚武藝 |
| 地址 | 411100 湖南省長沙市開福區(qū)清水塘街道芙蓉中路瀟湘華天大酒店41樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種離子束和化學(xué)機械拋光組合的鋁合金反射鏡加工方法，包括：對鋁合金反射鏡利用單點金剛石車削進(jìn)行面形誤差修正；對鋁合金反射鏡進(jìn)行離子束修行；對鋁合金反射鏡進(jìn)行迭代化學(xué)機械拋光。由于鋁合金化學(xué)性質(zhì)活潑，材料偏軟，普通加工方法以產(chǎn)生污染和損傷，反復(fù)迭代加工降低效率。本發(fā)明提出非接觸式離子束加工和化學(xué)機械拋光組合工藝的方法，可提高鋁合金反射鏡加工效率和精度。本發(fā)明通過對單點金剛石車削后的鋁反射鏡表面進(jìn)行低能離子束濺射實現(xiàn)精確的高精度表面面形修形，達(dá)到目標(biāo)面形需求，后通過化學(xué)機械拋光方法對離子束修形后鋁合金反射鏡表面粗糙度實現(xiàn)修正降低，最終獲得目標(biāo)面形與粗糙度的鋁合金反射鏡。?? |
