一種離子束和化學機械拋光組合的鋁合金反射鏡加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011043575.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112171387B 公開（公告）日 2022-02-22
申請公布號 CN112171387B 申請公布日 2022-02-22
分類號 B24B1/00（2006.01）I;C23F3/02（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 關(guān)朝亮;戴一帆;彭小強;胡皓;杜春陽 申請（專利權(quán)）人 湖南天創(chuàng)精工科技有限公司
代理機構(gòu) 湖南兆弘專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 譚武藝
地址 411100 湖南省長沙市開福區(qū)清水塘街道芙蓉中路瀟湘華天大酒店41樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種離子束和化學機械拋光組合的鋁合金反射鏡加工方法，包括：對鋁合金反射鏡利用單點金剛石車削進行面形誤差修正；對鋁合金反射鏡進行離子束修形；對鋁合金反射鏡進行迭代化學機械拋光。由于鋁合金化學性質(zhì)活潑，材料偏軟，普通加工方法以產(chǎn)生污染和損傷，反復迭代加工降低效率。本發(fā)明提出非接觸式離子束加工和化學機械拋光組合工藝的方法，可提高鋁合金反射鏡加工效率和精度。本發(fā)明通過對單點金剛石車削后的鋁反射鏡表面進行低能離子束濺射實現(xiàn)精確的高精度表面面形修形，達到目標面形需求，后通過化學機械拋光方法對離子束修形后鋁合金反射鏡表面粗糙度實現(xiàn)修正降低，最終獲得目標面形與粗糙度的鋁合金反射鏡。