一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022769556.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213583711U 公開（公告）日 2021-06-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN213583711U 申請(qǐng)公布日 2021-06-29
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 董金勇;高燕凌;董峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中銘瓷（蘇州）納米粉體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州市中南偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 朱振德
地址 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號(hào)蘇州納米城西北區(qū)6幢204、206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于MAX相二維材料的蝕刻裝置，涉及到蝕刻技術(shù)領(lǐng)域，包括裝置箱體，所述裝置箱體內(nèi)部固定設(shè)置有蝕刻池，所述裝置箱體一側(cè)固定設(shè)置有支架筒，所述支架筒內(nèi)部套設(shè)有升降桿，所述升降桿頂端固定設(shè)置有密封升降臺(tái)，所述密封升降臺(tái)中部固定設(shè)置有固定安裝槽，所述裝置箱體頂部固定設(shè)置有蝕刻放置口，所述固定安裝槽與蝕刻放置口豎直對(duì)應(yīng)設(shè)置。本實(shí)用新型通過設(shè)置密封升降臺(tái)，將材料板放置在夾緊墊板與活動(dòng)夾板之間，調(diào)節(jié)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)，利用螺紋塊帶動(dòng)活動(dòng)塊，進(jìn)而使得活動(dòng)臺(tái)底部的活動(dòng)夾板向夾緊墊板運(yùn)動(dòng)，將固定好的材料穿過蝕刻放置口放入蝕刻池中進(jìn)行真空負(fù)壓蝕刻加工，加工操作方便，工作效率高。