一種旋轉(zhuǎn)紫外曝光機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810680434.9 申請日 -
公開（公告）號 CN108490745A 公開（公告）日 2020-12-22
申請公布號 CN108490745A 申請公布日 2020-12-22
分類號 G03F7/20 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 覃佐波;劉莎莉 申請（專利權(quán)）人 九江銀行股份有限公司合肥當(dāng)涂路支行
代理機構(gòu) 北京和信華成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡劍輝
地址 230012 安徽省合肥市新站區(qū)武里山路1399號鑫昊產(chǎn)業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種旋轉(zhuǎn)紫外曝光機，包括轉(zhuǎn)運臺、涂布機、曝光機；所述涂布機位于曝光機一側(cè)，轉(zhuǎn)運臺依次穿過涂布機、曝光機，曝光機頂部設(shè)置有紫外光源發(fā)生器；曝光機中間設(shè)置有曝光空腔，曝光空腔內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)曝光器，旋轉(zhuǎn)曝光器通過光源入射器連接到紫外光源發(fā)生器；所述轉(zhuǎn)運臺下表面安裝在第一底座橫梁、第二底座橫梁，第一底座橫梁設(shè)置在涂布機下方的涂布防震底座上；第二底座橫梁設(shè)置在曝光機下方的曝光防震底座上。本發(fā)明具有不需要曝光用掩模板、加工速度快、加工效率高、加工尺寸大、加工兼容性強的特點。