一種對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)的高精度單晶硅差壓傳感器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121420029.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN214893824U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-11-26 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN214893824U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-11-26 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01L13/06（2006.01）I;G01L19/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 趙建立;馬志強(qiáng) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南京沃天科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京中軟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 鄭燕飛 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市江寧區(qū)濱江開(kāi)發(fā)區(qū)聞鶯路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)的高精度單晶硅差壓傳感器，包括燒結(jié)底座、單晶硅芯片、芯體座、芯體管路、基座主體、基座管路、中心膜片、中心腔室、隔離膜片、隔離腔室、螺紋接頭、定位管和充油管；基座主體的上端內(nèi)側(cè)壁套接安裝有燒結(jié)底座；燒結(jié)底座的下端面對(duì)接安裝有芯體座；芯體座的上端面開(kāi)設(shè)的凹槽內(nèi)部安裝有單晶硅芯片；燒結(jié)底座和芯體座的外側(cè)壁安裝有芯體管路；基座主體的內(nèi)部間隔嵌入安裝有基座管路；基座主體的內(nèi)部正中心豎直開(kāi)設(shè)加工有中心腔室；中心腔室的內(nèi)部豎直安裝有中心膜片；本實(shí)用新型能夠提供一種密封性能好、壓力傳感性能好以及部件便于拆卸更換的對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)的高精度單晶硅差壓傳感器。 |
