一種用于鍍膜機真空室的工件架兼容機構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921039276.5 申請日 -
公開（公告）號 CN210856324U 公開（公告）日 2020-06-26
申請公布號 CN210856324U 申請公布日 2020-06-26
分類號 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 王越民;王燾駿 申請（專利權）人 佛山王氏航空光學科技有限公司
代理機構 北京世譽鑫誠專利代理事務所（普通合伙） 代理人 郭官厚
地址 528225廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)經濟開發(fā)區(qū)北園(測試車間)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于鍍膜機真空室的工件架兼容機構，本實用新型的掛桶下活動連接有可分離的小齒輪與旋轉中心的不動齒輪盤嚙合，形成了桶有自身自轉又圍繞爐體中心有公轉的狀態(tài)，使依附在掛桶表面的產品在旋轉中獲得靶材的離子濺射膜，實現(xiàn)弧形產品鍍膜，而小齒輪的頂端貫穿有掛架托盤，掛架托盤在掛桶的外圍圍繞放置掛架有若干組，等距于掛桶與靶材的距離，而掛架的底端連接有自轉齒輪機構，依照掛架的原理，實現(xiàn)了平板形的產品鍍膜與弧面產品鍍膜的兼容，在平板鍍膜時，只要取下桶，裝上平板掛架即可；在鍍孤面產品時，取下平板掛架，裝上桶，從而實現(xiàn)一爐多用，有效減少了初投資，使有限的設備，更好適應了變化的市場對不同產品的需求。??