背照式圖像傳感器及其形成方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111563810.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114156300A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114156300A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-08 |
| 分類號(hào) | H01L27/146（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李夢(mèng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海微阱電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海恒銳佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 黃海霞 |
| 地址 | 201210上海市浦東新區(qū)芳春路400號(hào)1幢3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種背照式圖像傳感器，包括半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底具有正表面和背表面；設(shè)于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi)的淺隔離槽和感光單元；設(shè)于所述半導(dǎo)體襯底內(nèi)的深隔離槽；覆蓋所述半導(dǎo)體襯底的正表面的第一介質(zhì)層，所述第一介質(zhì)層包括金屬互連結(jié)構(gòu)；覆蓋所述半導(dǎo)體襯底的背表面的第二介質(zhì)層，所述第二介質(zhì)層包括金屬柵格和導(dǎo)通結(jié)構(gòu)，所述導(dǎo)通結(jié)構(gòu)的一端與金屬柵格導(dǎo)通，另一端與焊盤(pán)結(jié)構(gòu)導(dǎo)通；焊盤(pán)結(jié)構(gòu)，貫穿所述半導(dǎo)體襯底和所述第二介質(zhì)層，且與所述金屬互連結(jié)構(gòu)連通。該背照式圖像傳感器的工藝步驟相比現(xiàn)有結(jié)構(gòu)能夠減少光罩版的使用，同時(shí)能實(shí)現(xiàn)金屬柵格電勢(shì)調(diào)節(jié)，減少工藝步驟，節(jié)約成本及改善圖像傳感器性能。 |
