一種硅片加工用石英舟
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910751608.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112397425A | 公開（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112397425A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-02-23 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 劉愛軍;曹丙強(qiáng);莊艷歆;周浪 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇金暉光伏有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 揚(yáng)州潤(rùn)中專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張琳 |
| 地址 | 225600江蘇省揚(yáng)州市高郵市城南經(jīng)濟(jì)新區(qū)興區(qū)路90號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及硅片擴(kuò)散技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種硅片加工用石英舟，包括擋板，所述擋板的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述擋板的外表面均固定安裝有舟挑架，兩個(gè)所述擋板內(nèi)表面的頂部之間固定連接有上支撐桿，所述上支撐桿的頂面開設(shè)有大卡槽和小卡槽，兩個(gè)所述擋板內(nèi)表面的底部之間固定連接有下支撐桿，所述下支撐桿的頂部開設(shè)有大槽和小槽。該硅片加工用石英舟，通過在硅片上下支撐桿的開設(shè)兩種槽長(zhǎng)，兩種槽交替分布，在插入方形硅片時(shí)，兩種槽有利于擦作人方便辨識(shí)，避免誤插錯(cuò)，此外由于兩種槽長(zhǎng)適應(yīng)兩種尺寸硅片，大硅片會(huì)發(fā)生因錯(cuò)位槽長(zhǎng)小無法插入，小硅片錯(cuò)位會(huì)因槽長(zhǎng)大而松動(dòng)，方便操作人及時(shí)發(fā)現(xiàn)錯(cuò)誤，避免了硅片的錯(cuò)位損害。?? |
