一種硅片檢測工裝
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201910749562.9 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112387605A | 公開（公告）日 | 2021-02-23 |
| 申請公布號 | CN112387605A | 申請公布日 | 2021-02-23 |
| 分類號 | B07C5/02(2006.01)I; | 分類 | 將固體從固體中分離；分選; |
| 發(fā)明人 | 劉愛軍;曹丙強;莊艷歆;周浪 | 申請（專利權(quán)）人 | 江蘇金暉光伏有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 揚州潤中專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張琳 |
| 地址 | 225600江蘇省揚州市高郵市城南經(jīng)濟新區(qū)興區(qū)路90號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種硅片檢測工裝，涉及硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種硅片檢測工裝，包括機架，所述機架的一側(cè)設(shè)置有檢測底座，所述機架靠近檢測底座一側(cè)的外壁開設(shè)有滑動槽，所述檢測底座側(cè)面固定連接有連接板。該硅片檢測工裝，通過支撐桿以及移動桿的配合使用，使硅片可以旋轉(zhuǎn)，從而達到可以對硅片的兩面進行觀察檢測的目的，無需在檢測完硅片的一面后再拿起硅片翻轉(zhuǎn)，避免硅片在多次取拿的過程中損壞，且利用底板與氣囊可以將硅片固定，由于氣囊的內(nèi)部設(shè)置有氣壓傳感器，有效避免了氣囊對硅片的壓力過大導(dǎo)致硅片損壞的情況，保證了檢測過程中硅片的完好性，同時也提高了硅片檢測的便利性。?? |
