一種金剛石線鋸切割單、多晶硅片的分選檢驗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810251258.7 申請日 -
公開(公告)號 CN108745921B 公開(公告)日 2021-06-15
申請公布號 CN108745921B 申請公布日 2021-06-15
分類號 B07C5/00(2006.01)I;B07C7/00(2006.01)I 分類 將固體從固體中分離;分選;
發(fā)明人 劉愛軍;陳永慶 申請(專利權)人 江蘇金暉光伏有限公司
代理機構 揚州潤中專利代理事務所(普通合伙) 代理人 謝東
地址 225600江蘇省揚州市高郵市城南經濟新區(qū)興區(qū)路90號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種金剛石線鋸切割單、多晶硅片的分選檢驗方法。該方法包括下列步驟,步驟一:自動分選機將硅片分成A類硅片,A?類硅片以及未識別的硅片,步驟二:操作人員將未識別的硅片中的臟片和密線片挑出,臟片重洗,進入步驟一分選,密線片通過目測,分選出B片和C片,不確定的密線片進入步驟一跑片分選,批量出現(xiàn)未識別的硅片時,進入步驟三,步驟三:未識別的硅片批量出現(xiàn)時,操作人員使用晶片多功能參數(shù)檢測儀、數(shù)顯游標卡尺、同心度模板、塞尺以及面粗糙度測試儀復選,步驟四:抽檢,步驟五:分類裝箱,步驟六:儲存。由于自動分選機、人工初復選、人工再次復選以及抽檢相配合,將硅片分類成A類硅片,A?類硅片,B片和C片。