晶圓前端傳送系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010344078.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111554601B 公開（公告）日 2021-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN111554601B 申請(qǐng)公布日 2021-12-28
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 葉瑩;畢迪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海果納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海盈盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫佳胤;高德志
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種晶圓前端傳送系統(tǒng)，包括：裝載臺(tái)和缺陷檢測(cè)模組，所述缺陷檢測(cè)模組用于在所述晶圓進(jìn)入設(shè)備端之前，對(duì)晶圓進(jìn)行缺陷的檢測(cè)以及進(jìn)行晶圓的對(duì)準(zhǔn)，包括：晶圓載臺(tái)，用于固定需要進(jìn)行缺陷檢測(cè)的所述晶圓；圖像獲取模塊，包括攝像頭陣列，所述圖像獲取模塊通過攝像頭陣列一次拍攝獲得所述晶圓載臺(tái)上的晶圓整個(gè)表面對(duì)應(yīng)的第一檢測(cè)圖像或者通過攝像頭陣列一次拍攝獲得晶圓邊緣一圈對(duì)應(yīng)的對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)圖像；缺陷判斷模塊，所述缺陷判斷模塊根據(jù)所述圖像獲取模塊獲得的第一檢測(cè)圖像，判斷所述晶圓的表面是否存在缺陷；對(duì)準(zhǔn)模塊，所述對(duì)準(zhǔn)模塊根據(jù)對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)圖像上缺口的位置獲得晶圓在晶圓載臺(tái)上的位置。本申請(qǐng)的晶圓前端傳送系統(tǒng)檢具缺陷檢測(cè)和對(duì)準(zhǔn)的功能。