用于晶片載入臺(tái)的晶片掃描機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111263661.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113851405A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113851405A 申請(qǐng)公布日 2021-12-28
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張冬峰;章秀國(guó);葉瑩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海果納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無(wú)錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 顧品熒
地址 200000上海市中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號(hào)C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了用于晶片載入臺(tái)的晶片掃描機(jī)構(gòu)，包括底板和與底板固定連接的水平導(dǎo)板，水平導(dǎo)板上滑動(dòng)連接有兩個(gè)水平滑板，水平滑板通過(guò)連桿組件與沿豎直面伸縮的驅(qū)動(dòng)件連接，驅(qū)動(dòng)件的輸出軸伸出或收回時(shí)推動(dòng)兩個(gè)水平滑板相對(duì)或相向運(yùn)動(dòng)。兩個(gè)水平滑板上分別與對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩個(gè)水平長(zhǎng)擺臂的一端鉸接，水平長(zhǎng)擺臂上還鉸接有水平短擺臂，水平短擺臂的一端與水平長(zhǎng)擺臂鉸接，另一端與水平導(dǎo)板鉸接，兩個(gè)所述水平長(zhǎng)擺臂可以隨水平滑板移動(dòng)，同時(shí)能在兩個(gè)對(duì)應(yīng)的水平短擺臂作用下在水平面內(nèi)做反向同步擺動(dòng)。實(shí)現(xiàn)光電傳感器伸出和縮回底板的動(dòng)作，避免了與晶片裝載盒或晶片的碰撞，且結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)約了空間。