用于晶片載入臺的晶片掃描機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111263661.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113851405A 公開（公告）日 2021-12-28
申請公布號 CN113851405A 申請公布日 2021-12-28
分類號 H01L21/677（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張冬峰;章秀國;葉瑩 申請（專利權(quán)）人 上海果納半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市匯誠永信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 顧品熒
地址 200000上海市中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)環(huán)湖西二路888號C樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了用于晶片載入臺的晶片掃描機(jī)構(gòu)，包括底板和與底板固定連接的水平導(dǎo)板，水平導(dǎo)板上滑動連接有兩個水平滑板，水平滑板通過連桿組件與沿豎直面伸縮的驅(qū)動件連接，驅(qū)動件的輸出軸伸出或收回時(shí)推動兩個水平滑板相對或相向運(yùn)動。兩個水平滑板上分別與對應(yīng)設(shè)置的兩個水平長擺臂的一端鉸接，水平長擺臂上還鉸接有水平短擺臂，水平短擺臂的一端與水平長擺臂鉸接，另一端與水平導(dǎo)板鉸接，兩個所述水平長擺臂可以隨水平滑板移動，同時(shí)能在兩個對應(yīng)的水平短擺臂作用下在水平面內(nèi)做反向同步擺動。實(shí)現(xiàn)光電傳感器伸出和縮回底板的動作，避免了與晶片裝載盒或晶片的碰撞，且結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)約了空間。