一種燒結(jié)體、靶材及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110591753.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113149614A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113149614A 申請公布日 2021-07-23
分類號 C04B35/01;C04B35/453;C04B35/457;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/34 分類 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 尹丙偉;肖俊峰;孫俊;周華明;李巖;石剛 申請（專利權(quán)）人 通威太陽能（合肥）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 安徽知問律師事務(wù)所 代理人 王澤洋
地址 230000 安徽省合肥市高新區(qū)長寧大道888號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種燒結(jié)體及靶材，其組成包括該燒結(jié)體及靶材由ITO基材及分布在該ITO基材內(nèi)的高熔點氧化物固溶體組成；本發(fā)明同時還提供了該燒結(jié)體及靶材的制備方法，包括燒制工序，該燒制工序是將含有氧化物固溶體或氧化物固溶體對應(yīng)氫氧化物的ITO混合粉體進(jìn)行共燒，共燒后制備得到燒結(jié)體，對燒結(jié)體進(jìn)行塑性加工，形成ITO靶材。本發(fā)明所提供的燒結(jié)體、靶材以及通過本發(fā)明制備方法制備的燒結(jié)體及靶材能夠有效抑制燒結(jié)體及靶材發(fā)生裂紋的現(xiàn)象。