可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920210232.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN201538827U 公開（公告）日 2010-08-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN201538827U 申請(qǐng)公布日 2010-08-04
分類號(hào) C30B11/00(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 黃小衛(wèi) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海元亮光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201800 上海市嘉定區(qū)馬陸鎮(zhèn)嘉戩公路328號(hào)6幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可以調(diào)節(jié)固液界面溫度梯度的坩堝蓋板，涉及晶體生長(zhǎng)熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，主要用于晶體生長(zhǎng)用坩堝上的坩堝蓋板，其特征在于：所述坩堝蓋板內(nèi)壁在沿中心點(diǎn)處向外延伸，每個(gè)同心圓環(huán)的圓環(huán)面制有不同的厚度。有益效果是將坩堝蓋板內(nèi)側(cè)面制成非等厚，改變了熱輻射、熱對(duì)流和熱傳導(dǎo)，使得固液界面的溫度分布到達(dá)工藝的要求，提高了晶體的尺寸和質(zhì)量。