一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920210235.8 申請日 -
公開（公告）號 CN201648568U 公開（公告）日 2010-11-24
申請公布號 CN201648568U 申請公布日 2010-11-24
分類號 C30B35/00(2006.01)I;F27D21/02(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 黃小衛(wèi) 申請（專利權(quán)）人 上海元亮光電科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201800 上海市嘉定區(qū)馬陸鎮(zhèn)嘉戩公路328號6幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型晶體爐觀察窗擋板結(jié)構(gòu)，涉及晶體生長設(shè)備和高溫設(shè)備，屬于晶體生長設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，包括擋板轉(zhuǎn)軸和真空動密封，擋板轉(zhuǎn)軸穿過真空動密封的內(nèi)腔后和觀察窗擋板相接，在觀察窗擋板的上方設(shè)置觀察窗，用于觀察爐膛內(nèi)晶體的生長，其特征在于：所述的擋板轉(zhuǎn)軸由水冷裝置構(gòu)成，水冷裝置包括進水管和出水管，在所述進水管和出水管外密封水冷擋板。有益效果是將轉(zhuǎn)軸結(jié)構(gòu)中的實心金屬棒更換成水冷結(jié)構(gòu)，在實際使用中能有效的把熱量通過冷卻水帶走，減低了轉(zhuǎn)軸的表面溫度，從而保護了轉(zhuǎn)軸外面的真空密封圈或磁流體結(jié)構(gòu)，有利于提高了真空度和延長真空動密封的使用溫度和使用壽命。