一種新型晶體爐提拉結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920210234.3 申請日 -
公開（公告）號 CN201538828U 公開（公告）日 2010-08-04
申請公布號 CN201538828U 申請公布日 2010-08-04
分類號 C30B15/30(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 黃小衛(wèi) 申請（專利權）人 上海元亮光電科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 201800 上海市嘉定區(qū)馬陸鎮(zhèn)嘉戩公路328號6幢底層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種新型晶體爐提拉結構，涉及晶體生長技術領域，包括晶桿機構、提拉機構、籽晶中心和新型稱重機構，其特征在于；在所述晶桿機構的右側設有懸臂稱重桿，直線滑板軌道設在所述提拉機構的左側，與懸臂稱重桿相連，所述籽晶中心設在提拉機構的下方，在所述籽晶中心的下方設置新型稱重機構。本實用新型的有益效果是利用籽晶中心可調技術和新型稱重機構，利用全新的機構設計，客服傳統(tǒng)設計的缺點，從而提高了晶體生長設備可靠性和穩(wěn)定性，在生產(chǎn)中提高了晶體材料的質量。