一種晶圓掃描裝置及掃描方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010997692.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112038279A 公開（公告）日 2020-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN112038279A 申請(qǐng)公布日 2020-12-04
分類號(hào) H01L21/68;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張慶釗;陳百捷;姚廣軍;王鎮(zhèn)清 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯導(dǎo)精密（北京）設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京方韜法業(yè)專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 芯導(dǎo)精密（北京）設(shè)備有限公司
地址 100000 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街52號(hào)3號(hào)樓七層726號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓掃描裝置及掃描方法，所述晶圓掃描裝置用于安裝在晶圓盒底部，晶圓盒內(nèi)包括數(shù)個(gè)晶圓槽，所述晶圓掃描裝置包括底板、第一側(cè)板和第二側(cè)板，所述第一側(cè)板和第二側(cè)板垂直于底板并平行對(duì)置連接在底板之上，所述第一側(cè)板上設(shè)有數(shù)個(gè)光電發(fā)射端，所述第二側(cè)板設(shè)有數(shù)個(gè)光電接收端，每一個(gè)光電發(fā)射端與一個(gè)光電接收端一對(duì)一設(shè)置構(gòu)成一組掃描組件，每組掃描組件內(nèi)的光電發(fā)射端和光電接收端分別置于一個(gè)晶圓槽的兩側(cè)而形成錯(cuò)位掃描。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，錯(cuò)位掃描有效提高準(zhǔn)確性，且不接觸不移動(dòng)晶圓，不會(huì)對(duì)晶圓產(chǎn)生損傷。