一種新型機械臂
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202010997703.1 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN112109095A | 公開(公告)日 | 2020-12-22 |
申請公布號 | CN112109095A | 申請公布日 | 2020-12-22 |
分類號 | B25J11/00(2006.01)I | 分類 | 手動工具;輕便機動工具;手動器械的手柄;車間設備;機械手; |
發(fā)明人 | 張慶釗;陳百捷;姚廣軍;王鎮(zhèn)清 | 申請(專利權)人 | 芯導精密(北京)設備有限公司 |
代理機構 | 北京方韜法業(yè)專利代理事務所(普通合伙) | 代理人 | 芯導精密(北京)設備有限公司 |
地址 | 100000北京市海淀區(qū)中關村南大街52號3號樓七層726號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種新型機械臂,包括基礎部、第一叉指和第二叉指,所述第一叉指和第二叉指包括柄部和端部,所述柄部均呈長條狀,在柄部的下端向外延伸形成鉤狀的端部,第一叉指和第二叉指平行并列布置,第一叉指和第二叉指的柄部上端與基礎部轉動連接,使得第一叉指和第二叉指均能夠以柄部為軸轉動。本發(fā)明能夠實現穩(wěn)定取放晶圓的同時不觸碰晶圓表面,不造成晶圓損傷,翻轉時晶圓不易脫落,且對加工精度要求低,成本低廉。?? |
