一種用于傳送晶圓機(jī)械臂的聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)及其機(jī)械臂

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111213312.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113787513A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN113787513A 申請(qǐng)公布日 2021-12-14
分類號(hào) B25J9/10（2006.01）I 分類 手動(dòng)工具；輕便機(jī)動(dòng)工具；手動(dòng)器械的手柄；車間設(shè)備；機(jī)械手;
發(fā)明人 陳百捷;張慶釗;姚廣軍;王鎮(zhèn)清 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 芯導(dǎo)精密（北京）設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京千壹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭士磊
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)康定街甲6號(hào)諾金傳感科技園102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種用于傳送晶圓機(jī)械臂的聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括一級(jí)連桿、一級(jí)連接環(huán)、一級(jí)擺動(dòng)環(huán)、二級(jí)連桿、二級(jí)連接環(huán)、二級(jí)擺動(dòng)環(huán)、關(guān)節(jié)軸和擺動(dòng)軸。一級(jí)連桿的兩端分別連接有一級(jí)連接環(huán)和一級(jí)擺動(dòng)環(huán)；二級(jí)連桿的兩端分別連接有二級(jí)連接環(huán)和二級(jí)擺動(dòng)環(huán)；一級(jí)連接環(huán)、二級(jí)連接環(huán)依次套設(shè)在關(guān)節(jié)軸上；一級(jí)擺動(dòng)環(huán)、二級(jí)擺動(dòng)環(huán)依次套設(shè)在擺動(dòng)軸上；調(diào)節(jié)關(guān)節(jié)軸帶動(dòng)一級(jí)連接環(huán)或二級(jí)連接環(huán)擺動(dòng)，通過(guò)對(duì)應(yīng)連接的一級(jí)連桿或二級(jí)連桿帶動(dòng)擺動(dòng)軸在對(duì)應(yīng)位置擺動(dòng)。通過(guò)本發(fā)明的聯(lián)動(dòng)結(jié)構(gòu)，保證各級(jí)機(jī)械臂始終保持在其對(duì)應(yīng)水平面上的直線運(yùn)動(dòng)軌跡，同時(shí)避免傳統(tǒng)鋼帶或齒形帶傳動(dòng)造成的磨損和更換問(wèn)題，提高傳動(dòng)系統(tǒng)環(huán)境的清潔度，延長(zhǎng)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)及機(jī)械臂的使用壽命。