一種自帶晶圓尋邊傳感器的機(jī)械手
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610572484.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106558526B | 公開(kāi)（公告）日 | 2019-09-13 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106558526B | 申請(qǐng)公布日 | 2019-09-13 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/687（2006.01）I; H01L21/683（2006.01）I; B25J9/08（2006.01）I; B25J15/06（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 陳百捷; 王鎮(zhèn)清; 姚廣軍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 芯導(dǎo)精密（北京）設(shè)備有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京馳納智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 芯導(dǎo)精密（北京）設(shè)備有限公司 |
| 地址 | 100190 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街52號(hào)3號(hào)樓七層726號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種自帶晶圓尋邊傳感器的機(jī)械手，包括主臂（100）、尋邊傳感器（1103）和芯軸組件（140），尋邊傳感器（1103）能隨主臂（100）一起升降旋轉(zhuǎn)，主臂（100）采用第一中空結(jié)構(gòu)，芯軸組件（140）貫穿所述第一中空結(jié)構(gòu)并設(shè)置成相對(duì)主臂（100）不旋轉(zhuǎn)但能相對(duì)主臂（100）升降的狀態(tài)，芯軸組件（140）采用中空軸形成第二中空結(jié)構(gòu)，所述第二中空結(jié)構(gòu)始終保持抽氣狀態(tài)，托盤(pán)（1402）托住晶圓背部并與之保持一定空間與大氣相通產(chǎn)生負(fù)壓，使托盤(pán)（1402）在取送晶圓時(shí)能夠穩(wěn)固并托住晶圓。本發(fā)明將尋邊傳感器與機(jī)械手合二為一，尋邊過(guò)程中晶圓不旋轉(zhuǎn)主臂帶著傳感器高速旋轉(zhuǎn),有效避免現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)晶圓帶來(lái)的缺陷，托盤(pán)支撐晶圓的負(fù)壓結(jié)構(gòu)有效克服了現(xiàn)有吸盤(pán)結(jié)構(gòu)的缺陷。 |
